二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9230376 待售
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已售出
ID: 9230376
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
CVD System, 8"
(3) Chambers: DxZ
Chamber A:
Manometer: 100/2
Heater: AL
Clean method: AE 2000-2V
Pressure method: Direct drive throttle valve
Chamber B:
Manometer:100/2
Heater: AL
Clean method: AE 2000-2V
Pressure method: Direct drive throttle valve
Chamber D:
Manometer:100/2
Heater: AL
Clean method: AE 2000-2V
Pressure method: Direct drive throttle valve
1st Monitor: Through the wall
2nd Monitor: Stand alone
Narrow body loadlock
HP Robot
OTF
Valves: Unit MFCs
Filters: MILIPORE
Regulators: VERIFLO
System cabinet exhaust: Top
Single line drop
Gas pallet configuration:
Chamber A / Size / Model
SiH4 / 500 sccm / Stec MFCs
NH3 / 200 sccm / Unit MFCs
NF3 / 1 Slm / Unit MFCs
N2O / 500 sccm / Unit MFCs
N2 / 5 Slm / Unit MFCs
Chamber B / Size / Model
SiH4 / 500 sccm / Stec MFCs
NH3 / 200 sccm / Unit MFCs
NF3 / 2 Slm / Unit MFCs
N2O / 500 sccm / Unit MFCs
N2 / 5 Slm / Unit MFCs
Chamber D / Size / Model
SiH4 / 500 sccm / Stec MFCs
NH3 / 200 sccm / Unit MFCs
NF3 / 1 Slm / Unit MFCs
N2O / 500 sccm / Unit MFCs
N2 / 5 Slm / Unit MFCs
Process: Nitride deposition (Nit. Pass.)
1996 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DxZ Reactor是一個生產級的批量反應堆，能夠為各種應用生產高性能材料。DxZ反應堆是為生產等離子體增強化學氣相沈積（PE-CVD）而獨特設計的。DxZ反應堆設計有轉盤底座和4段多目標等離子體。這使得設備可以合成多種材料，如氮化物、氧化物、金剛石狀碳（DLC）和矽基化合物，可以針對特定應用量身定制。轉盤還用於在不同目標之間切換，允許耐磨多段目標。在運行中，DxZ反應堆采用三級工藝。第一階段是氣體引入，其中氣體進入腔室並適當混合合成。在第二階段，脈沖等離子體由提供與過程匹配的功率的電力系統產生和維護。最後在第三階段將基板放置在腔室中，由高頻電場和氣體混合而成的反應物種沈積在基板上形成材料。DxZ反應堆還具有多種安全功能，以確保可靠運行。其中包括用於氣體入口單元和帶有可調計時器的排氣機的安全聯鎖和壓力傳感器，以及高效顆粒物和有害氣體過濾。由於其設計和特點，康寧AMAT Centura DxZ反應堆是生產高品質、高性能材料的絕佳工具。其堅固的設計、安全特性和多種基材，使其成為商業、工業和研究應用的絕佳選擇。
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