二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura E 5200 #118505 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura E 5200是半導體工業常用的等離子體外延外延反應器。這個反應堆是一個多框架工具，允許同時進行兩個同時進行的過程。它具有各種轉變水平，從很低到很高不等。冷卻區溫度是可調的，允許精確穩定的過程控制。AMAT Centura E 5200專為150 mm以下的晶圓尺寸而設計,可提高生產效率。它還配備了雙面加熱器和冷卻設備，從而提高了溫度均勻性。這也有助於減少熱誘導的應力,並以最小的熱循環保持一致、準確的過程。該反應器具有低溫、CMP末拋光和低溫熱噴霧共沈澱（CPC）工藝，用於高質量的亞微米裝置。它還采用超低電容技術，在最小的空間內提供性能最好的晶體管。由於優化了靜電卡盤、模夾和晶片夾緊系統，可以實現高公差。APPLIED MATERIALS Centura E 5200也能夠進行多種激光過程，如Scan Rotation Tilt（SRT）和DNA。這些激光工藝使得先進的結構，如更大的互連密度，最窄的閘門和更可靠的通矽通氣。反應堆有一個綜合計量單元，允許工藝工程師監測設備的性能，並測量特定工藝的結果。此外,還提供了廣泛的流程和開發工具,使工程師能夠不斷改進流程。其中包括射頻匹配、射頻測量和測試，以及FIZ（熔融電離區）控制。Centura E 5200是一個高性能、可靠和精確的反應堆，用於生產復雜的裝置和先進的結構。其可調整的冷卻區溫度、雙面加熱器和冷卻機、長期的工藝可靠性以及集成的計量工具等功能使其成為許多工藝工程師的首選。