二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #293624199 待售
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ID: 293624199
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Etcher, 12"
EFEM
TM Module
AC Rack
Generator rack
2006 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura eMax CT+是一種高通量反應堆,可以提供統一和可重復的結果,制造成本低。設計用於高溫膜、氧化物、氮化物、亞硝基和聚合物的沈積性能。反應堆根據構型由2-5個工藝袋組成,並配有聚焦離子束(FIB)源和二次工序的電子束槍。AMAT Centura eMax CT+采用先進的熱液源制造。這提供了高度均勻的沈積膜在大晶片尺寸具有特殊的晶片到晶片的可重復性。eMax CT+還允許可變真空壓力和溫度設置,允許精確控制薄膜的沈積速率、厚度和化學計量。這種工藝控制可以用通用工藝模塊進一步優化,這是反應堆的標準配置。應用材料CENTURA E-MAX CT+包含高功率FIB源,在顯微鏡下提供對材料表面的精確操縱。使用此源,可以以較高的精度進行高級模式處理。此外,電子束槍允許納米級控制薄膜過程。反應堆的先進技術可用於快速加工生產水平加工中的多種底物。它具有高通量晶片處理能力,具有統一和可重復的結果。AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+是為在整個過程中提供可靠的晶圓質量、最佳的可重復性和可靠性以及低擁有成本而構建的。
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