二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #293633129 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+是為先進半導體工程設計的下一代等離子體蝕刻反應器。此創新解決方案經過精心設計,可提供卓越的性能,以實現卓越的工藝產量和可重復性。eMax CT+反應堆采用獨特的專利設計，將行之有效的高效電感耦合等離子體（ICP）技術與創新的探測器和可操作性增強相結合，以實現頂級工藝控制。這種功能強大的組合使得eMax CT+成為一種非常可靠和高效的納米加工工具。eMax CT+反應堆設有先進的晶圓定向設備，為蝕刻室中的兩個晶圓提供精確對準。這樣就可以生產具有非常小的特征大小的高分辨率陣列。eMax CT+還結合了可變腔室壓力系統，使機組內的氣壓得以調節，確保了準確和可重復的工藝結果。反應堆還利用快速反應石英晶體監測儀，使過程實時監測和優化。eMax CT+還采用了先進的氣體輸送機，通過體積調節優化工藝參數，實現了工藝配方的快速叠代探索。反應堆還利用先進的配方管理軟件，使工藝參數動態改變。為了提高生產率,eMax CT+反應堆還提供多盒式裝載功能以及低負載級監控。eMax CT+還配備了先進的冷卻工具,結合了精心優化的液體冷卻系統和變速風扇,可提供可靠和一致的過程穩定性。強大的冷卻資產還可以在腔室中實現更有效、更精確的溫度控制，從而在蝕刻腔中實現更精確、更可重復的過程。eMax CT+反應堆被設計為一種用途極為廣泛的工具，能夠處理廣泛的基材材料，如鎢、鈦、鋁和氮化鈦，從而實現了廣泛的工藝應用。該型號可處理高達6英寸的晶圓基板，最大工藝速率為600 nm/min，為先進的半導體工程提供頂級性能。
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