二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9115996 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，用於薄膜和納米材料的高級外延生長和沈積。這種CVD反應器的特點是具有擴展的活動體積和大半徑環路的工藝室。它提供了高精度的溫度和氣流均勻性，先進的敏感器設計，以及高純度的工藝環境，使其成為具有挑戰性的沈積挑戰的理想選擇。AMAT Centura eMax CT+是為高性能應用而設計的最先進的CVD反應堆。其較大的活動性體積和環狀半徑使得其非常適合多區生長和先進的外延沈積過程，如納米材料和其他需要高長寬比和步長控制的材料的沈積。反應堆還對晶圓上的氣流和溫度提供先進的控制，以提供均勻性和準確性。反應堆采用先進的觸摸屏用戶界面，便於訪問工藝參數、配方和工藝數據。它還具有用於設定點控制的集成壓力和Crucible溫度控制器、用於優化過程控制的低壓傳感器以及用於安全過程操作的高級監控和保護功能。用戶界面還允許對腔室的環境進行實時監控，從而便於根據需要調整或維護工藝條件。反應堆對工藝環境提供廣泛的溫度控制，溫度範圍可達1200 °C。此外，它在晶片上的高均勻性提供了良好的起始溫度和峰值溫度，整個晶片上有低溫波紋。其可選的磁感器升空特性還允許晶片在沈積過程中受控熱膨脹。反應堆還具有體積小巧、功耗低的特點，使安裝和運行更加容易和高效。它專為高效利用資源而設計,還可以使用筆記本電腦或移動設備遠程操作,以提高靈活性和生產率。此外,它減少了占地面積,減少了對大型加工區的需求,進一步增加了空間和成本節約。應用材料CENTURA E-MAX CT+旨在解決具有挑戰性的沈積難題,同時提供安全、可靠和高效的體驗。其先進的設計和特點使其成為各種半導體制造工藝的經濟高效且用戶友好的選擇。