二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9195718 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+是一種高性能反應器，專為在化學氣相沈積（CVD）應用中提供優越的效果而設計。憑借其高功率的平臺、高效的設計和先進的功能，這座反應堆最大限度地提高了性能和吞吐量，同時幫助降低了每晶圓的成本。AMAT Centura eMax CT+是圍繞精密雙線直流電動機設計的,該電動機具有高精度的非接觸式光學編碼器,使電動機能夠在工藝區域內精確定位基板。該電動機與兩相感應自動控制一起,可實現平穩、可重復和可靠的過程。該反應堆的動力設備是外部控制的高頻交流電源，可變功率輸出高達24千瓦，為特定應用提供了最佳的能效。APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+配備了廣泛的高級功能,以確保在CVD過程中的可靠性能。這包括一個先進的壓力安全系統來控制工藝環境，一個集成的石英冷壁熱管理單元來最大限度地減少沈積過程中的熱損失，以及一個化學源溫度管理機器來確保源氣體的溫度一致且可重復。此外，CENTURA E-MAX CT+可以通過直接接觸熱電偶和熱電冷卻器熱電偶監測和控制工序區溫度，確保均勻一致的結果。反應堆還設有實時監測工具，以確保安全運行，並限制損害樣品完整性的可能性。總體而言，AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+是一種先進的高性能反應堆，可以提供卓越的CVD處理結果。AMAT CENTURA E-MAX CT+的高效設計、精密電機、強大的交流電源和一系列先進的功能相結合,成為先進的化學氣相沈積應用的最佳選擇。