二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9259969 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS Centura eMax CT+是一種下一代半導體反應堆,旨在以最大的吞吐量和效率生產出質量最高的半導體材料。設備提供全套工藝工具,包括外延、離子註入、墊片蝕刻,以及高真空工藝室、超高溫、低噪聲低振動環境等先進工藝能力,非常適合高產、低缺陷生產。AMAT Centura eMax CT+還具有基材加工方面的關鍵進步,包括高度均勻一致的晶圓摻雜型材和均勻的外延層高度,從而提高了產量並提高了器件性能。APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+提供了廣泛的腔室大小和配置,所有這些都具有靈活的工藝能力,包括單晶片、批處理和多腔室系統。它提供各種用於等離子體蝕刻、沈積和外延的工藝氣體,具有高精度計量和現場監測能力。該系統靈活的配方定義、自動化的工作流控制以及優化的晶圓處理提供了可重復和可靠的體驗。該單元還提供自動晶片加載、卸載和跟蹤,並提供實時數據收集和分析。高級實時跟蹤和報告儀表板提供詳細的流程分析並生成數據,使用戶能夠識別趨勢、查明問題並跟蹤流程改進。先進的過程控制和優化工具,如預測退火器和自適應摻雜,提供提高產量和質量的結果。Centura eMax CT+的設計具有低維護要求和環保操作,包括自動晶圓清洗、先進的過濾機和高效的操作員維護計劃。該工具具有一套維護自動化功能和強大的通信功能,可幫助減少流程停機時間並保持工具可用性,從而最大限度地提高生產吞吐量和準確性。總體而言,APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+是一種先進、堅固和可靠的半導體反應堆,能夠以最大的吞吐量和效率生產出質量最高的材料。
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