二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9293616 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+Reactor是一種晶圓製造系統，用於利用化學氣相沈積（CVD）蝕刻半導體晶圓。該反應堆采用小型模塊化設計，非常適合潔凈室環境，能夠蝕刻所有類型的材料。AMAT Centura eMax CT+提供了高度的精確度和控制力，使其能夠將材料精確蝕刻到原子水平。該系統設有沈積室、反應物輸送模塊和機器人臂。沈積室容納晶片，機器人臂用於在晶片蝕刻時以連續運動的方式移動晶片。反應物輸送模塊是將反應物引入沈積室的地方。反應物一般為氣體，如矽烷、氨、乙炔，引入速率由質量流控制器（MFC）控制。MFC確保反應物以安全和均勻的速率被引入腔室，防止不需要的反應發生。沈積室還裝有專門設計的用於傳導等離子體增強CVD工藝的電極組件。這個組件由一個較低的電極組成，該電極與反應堆主體相連，還有一個垂直旋轉的等離子體射流，負責產生等離子體。等離子體射流確保反應物分解成較小的分子，然後沈積到晶片表面。APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+能夠通過水平旋轉蝕刻室快速蝕刻晶片，具有高度的精度和控制力。腔室由上下壓板組成，晶圓放置在兩者之間。當下部壓板獨立控制時，上部壓板以連續運動的方式移動，從而實現所需的蝕刻模式。此外，APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+能夠並行運行多個反應堆，用於更大的生產作業。每個反應堆連接到相同的電源和共享資源，提高了處理速度和效率。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+反應堆提供了廣泛的功能，使其能夠以精確和精確的方式蝕刻大部分材料。是生產高性能半導體晶片的理想選擇。