二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9352627 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+Reactor是一種高性能、先進的蝕刻沈積工具，用於制造集成電路和其他先進的電子器件。該工具結合了標準的集群工具和集成的MaxJET™ IIXE梁元素技術（BET）源，提供了先進的蝕刻和沈積過程。該反應器用於半導體制造，以精確沈積或蝕刻材料。它使用MaxJET™的IIXE BET源將材料輸送到晶片，然後由計算機控制的高速噴射流從沈積室或蝕刻室中驅動。射流提供了材料向基板的精確而均勻的傳輸。eMax CT+還利用過程數字磁性平面控制（MPC）設備精確控制蝕刻參數。該系統提供對蝕刻過程的完全控制,以實現最高的精度和可重復性。eMax CT+包括一個標準群集工具,其中包括高級功能,如源對齊、熱打孔和分配、晶圓放置的視覺單元、安全的數據傳輸以及自動化的過程優化。群集工具可確保可重復和可靠的處理,同時可視化檢查可提供更高的產量和吞吐量。此外，反應堆還配備了一系列的測控系統，以確保精度和性能。這包括一臺光學診斷機，用於監控腔室壓力、氣流、溫度、表面拓撲和氣體成分等工藝參數，以確保最佳運行。AMAT Centura eMax CT+Reactor是一種可靠、高性能的工具，用於在集成電路和其他半導體器件上產生先進、精確的特性。它利用集成的MaxJET™ IIXE BET工具、Process Digital MPC資產以及一系列的測量和控制系統來確保精確和可重復的蝕刻和沈積過程。該反應堆非常適合制造集成電路、電子器件和其他先進器件。