二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9384969 待售

ID: 9384969
晶圓大小: 12"
Etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+是一種先進的化學氣相沈積(CVD)反應器,專為滿足半導體器件制造的苛刻要求而設計。這款高性能工具利用一流技術和尖端工程技術的獨特組合,提供卓越的一致性、準確性和可重復性。CT+具有許多功能,包括緊湊、流線型的設計,可在給定的占用空間內實現最高級別的性能。此外,CT+還進行了精確調整,以創建和維護最佳沈積配方。AMAT Centura eMax CT+是一個先進的實驗室規模的CVD反應堆系統,利用高性能、低溫等離子體源進行沈積和蝕刻過程。該反應堆能夠在單個基板上制造多層集成的微/納米結構。CT+具有用於加熱基板和基板箔的集成爐系統,以及用於原子層沈積的單獨蝕刻室。該工具的堅固設計允許溫度從200°C到1150°C,以方便各種過程。CT+得益於一系列先進技術,包括相控鎖環路(PLL)頻率控制、嵌入式可編程邏輯、數字網絡控制和直流偏置控制。這些獨特的功能使過程參數具有極高的準確性和可重復性。此外,CT+還提供氣體歧管和分配系統,用於穩定和可重復的氣體輸送。CT+的設計還允許用戶快速、輕松地更改或修改腔室配置。最後,APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+是專門為半導體器件制造而設計的先進、高性能的CVD反應器。其獨特的技術和卓越的設計相結合,為所有沈積和蝕刻過程提供了卓越的均勻性、準確性和可重復性。CT+的小占地面積進一步使其成為實驗室的理想選擇,因為實驗室需要最大限度地利用它們的空間。
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