二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax #9139787 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura eMax是一種高性能反應器，設計用於半導體超導層狀基板的高質量加工。AMAT Centura eMax配備了高級設計功能,可幫助確保沈積薄膜層的制造和表征達到最高水平的均勻性和性能。APPLIED MATERIALS Centura eMax利用PC控制的機械臂加載機制在高真空環境中運行,並將多塊半導體基板安全高效地加載到系統中。該系統控制基板運動、氣體流動和選定的工藝溫度。機器人的功能提供了最可靠的精細晶片的處理，並能夠準確放置材料成功沈積到基板上。Centura eMax還包括幾個高級流程。它可以配置遠程等離子體增強型原子層沈積工藝（ALE Depositing），也可以與化學氣相沈積（Chemical Vapor Deposition，CVD）等其他技術兼容。與傳統的沈積工藝相比，ALE沈積提供了均勻性、可重復性和改進的性能。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax還使用戶能夠通過各種膠片堆棧專門處理其基材,從簡單的金屬氧化物層到需要<100埃多層的復雜基材。AMAT Centura eMax的本質安全設計結合了自動化功能,可最大程度地減少操作員幹預,並在沈積材料中提供高度的可重復性和準確性。其高效的布局與高級監控、過程控制和數據收集功能相結合,減少了停機時間並提高了運營效率。這些密室設計方便維護、檢查和消除汙染,集成的安全功能使APPLIED MATERIALS Centura eMax非常方便用戶使用。Centura eMax是一個堅固、高性能的反應堆，用於高效和可靠的底物加工。其先進的設計特點使其成為要求在制造和表征超線程層狀基板時具有最高均勻性和準確性的應用的理想選擇。對於最先進、質量最高的半導體基板，AMAT/APPLICED MATERIALS Centura eMax是理想的系統。