二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax #9227021 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax反應堆是一種高度先進的半導體反應堆，提供制造先進光刻系統所必需的關鍵芯片蝕刻技術。該反應器的設計使精密的微加工具有極高的精確度和高穩定性，以滿足要求苛刻的半導體工藝的需求。AMAT Centura eMax反應堆的核心是一個先進的蝕刻室，由先進的熔融二氧化矽材料構成。該腔室在各種制造條件下提供卓越的熱穩定性和良好的環境控制。腔室保持在高達300 °C的溫度，這有助於提高工藝速度。此外,簡單的設計可確保快速反應時間,有助於減少誤差並提高產量。該腔室還配備了獨特的CCD成像系統，可讓工藝腔室快速準確對準。這有助於確保最佳的基板對齊，導致更高的產量和更少的基板缺陷。采用獨特的光子蝕刻脈沖系統，進一步提高光刻工藝的精度和速度。該系統有助於提高蝕刻工藝的均勻性。加熱蝕刻室由先進的磁控管驅動，可提供高精度和重復性。這種高度受控的環境有助於減少與流程相關的可變性並降低成本,同時保持盡可能高的產量。這是一個廣泛的配方庫,使用APPLIED MATERIALS Centura eMax反應器可以輕松定制,以滿足廣泛的設備需求,如高長寬比結構、低壓工藝管理和高速蝕刻。反應堆還結合了多項安全功能，包括主動冷卻墻、熱關閉和故障安全驗證鎖定。所有這些特性結合在一起，確保了一個安全可靠的光刻工藝。為了提高便利性，反應堆還具有遠程監測功能，可實時遠程更新進程。總之，Centura eMax反應堆是一種先進的蝕刻和光刻工具，為先進的半導體制造工藝提供了更高水平的可重復性和準確性。這種最先進的設備能夠滿足最苛刻的流程要求,同時為用戶提供從頭到尾的安心和對流程的全面控制。