二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax #9260048 待售
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ID: 9260048
晶圓大小: 8"
System, 8"
Model: Centura 5200 I
(3) Chambers
Centura 5200 I PH2 Mainframe
Loadlock: Wide body
SBC: V452
Robot: VHP+
Loadlock features:
Body loadlock: Wide body
Slit valve door O-ring: Viton
UNIVERSAL Wafer / Cassette sensors
Manual lid hoist
Helium cooling: MKS 649
Gas panel type: Seriplex
MFC Type: Unit 8160
No dummy wafer storage
eMax Chambers A, B and C
Gate valve: VAT
MKS Manometer, 1 Torr
Chuck: Ceramic ESC
ALCATEL ATH 1600 Turbo pump
ALCATEL ACT 1300 M Turbo pump controller
RF Match box: 0010-30686
ENI OEM 28B RF Generator
Endpoint type: Hotpack
Chamber F: ORIENT
Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax是Centura系列先進蝕刻沈積反應堆的升級版,用於制造集成電路(IC)。它是業界領先的設備,專為提供卓越的設備性能和過程控制而設計。系統配備10板、單室源配置。此配置在蝕刻和沈積過程中實現了更高的吞吐量、更高的生產率以及更大的靈活性。該機利用其主動氣體分配技術、等離子體源陣列和專有射頻裝置,有效地控制了蝕刻沈積過程。該工具與集成的高級流程監視器配對,該監視器為用戶提供了更好的針對所需流程結果的能力。它還配備了內置的清潔功能和自動化的可調濾波器,幫助用戶優化沈積過程。該資產在基板上采用統一的材料分布-無需在制造過程中進行人工幹預。這大大簡化了過程,減少了人為錯誤的可能性。AMAT Centura eMax還配備了先進的溫度控制模型,幫助用戶在蝕刻過程中保持穩定的溫度。這樣可以確保以相同的精度蝕刻IC基板的多層,從而形成均勻的逐層厚度。設備還針對速度和吞吐量進行了優化,允許用戶以最高效率生產IC。采用垂直集成和緊湊因子設計有助於實現這一點。除了先進的技術外,APPLIED MATERIALS Centura eMax還具有用戶友好性-使用戶可以輕松管理和監視系統。它的用戶界面包括直觀的視覺提示和交互式工作流,可簡化流程管理並減少出錯的可能性。總體而言,Centura eMax是業界領先的高級蝕刻和沈積反應堆,旨在提供卓越的設備性能和過程控制。它針對速度、吞吐量和準確性進行了優化,使用戶能夠以最高效率制造高質量的IC。
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