二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2 #9235111 待售

AMAT/應用材料CENTURA ENABLER E2是下一代多室幹蝕刻反應堆。它非常適合經濟高效地生產高級設備結構,非常適合MEMS、RF、功率半導體和高級封裝應用。AMAT CENTURA ENABLER E2具有模塊化設計,可在單個緊湊的設備中提供高通量的射頻等離子體蝕刻、深度蝕刻和飛行時間蝕刻功能。它具有兩個獨立控制的源室和一個等離子體室。這些腔室可以最佳地配置為處理不同的材料和結構。源室具有獨立功率控制的射頻激發特性，允許大面積蝕刻介電，難以蝕刻材料。射頻功率可在20kHz級內調節至500W級,並可應用於直徑大於6英寸的區域。源室還包括晶圓位置映射和伽馬射線輔助晶圓加載等便利功能，以改進配方轉移和精確蝕刻控制。等離子體室提供具有反應性和惰性氣體化學性質的深度蝕刻，便於地形和特征優化。蝕刻速率可在0.5至500 nm/min之間調節，腔室還支持高達1000 °C的基板溫度控制。該腔室還包括感應和電子回旋共振激發模式，以及一個先進的感應線圈，以實現最佳的空間電流分布。應用材料CENTURA ENABLER_E2包括一個內置的抽水負荷鎖和一個快速汙染回收系統。負載鎖維持晶片加載之間的超低真空，以減少加載和卸載時間。此外，負載鎖包括一個主動冷卻烘烤單元，它允許更短的烘烤時間，而不影響質量。總體而言，AMAT CENTURA ENABLER_E2是一種先進的多室蝕刻反應堆，允許在單個緊湊的機器中進行各種生產過程。它具有高性能的蝕刻功能,非常適合生產MEMS、RF、功率半導體和先進的封裝技術。此工具的可靠性能和成本效益使其成為許多應用程序的可靠選擇。