二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2 #9281495 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2是市場領先的用於先進設備制造的高密度等離子體氧化物蝕刻反應器。它可提供高吞吐量、過程一致性和汙染控制,從而實現卓越的設備性能和可靠性。具體來說，Enabler E2是一個感應耦合等離子體（ICP）蝕刻反應器，具有專有的設計，使其能夠產生高密度的均勻等離子體，在特征幾何形狀內進行深層蝕刻。此外，該設備還包含一個獨特的蝕刻室，能夠提供高長寬比特征蝕刻所需的高密度等離子體，使其非常適合制造極小和復雜的結構。該腔室最多配備四個電磁驅動的反應性氣體源，為用戶提供微調任何應用過程的能力。AMAT CENTURA ENABLER E2還配備了閉鎖系統，以盡量減少顆粒和汙染水平。它提供快速、自動化和精確的晶片加載和卡盤維護過程,以最大限度地提高吞吐量。這使得汙染水平保持在最低限度，從而實現可靠的工藝和提高產量。Enabler E2是一個高度可定制和靈活的單元,能夠處理直徑不超過200毫米的晶片,溫度從室溫到200攝氏度不等。這使得機器非常適合各種先進的設備制造過程，如氧化物蝕刻、CMP和沈積。簡而言之，APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER_E2是行業領先的用於先進設備制造的高密度等離子體氧化物蝕刻反應器。它具有高密度均勻等離子體設計、可定制蝕刻室以及用於汙染控制的閉鎖工具，使其能夠安全準確地處理各種尺寸和溫度。Enabler E2能夠在特征幾何形狀內進行深度蝕刻,並最大程度地減少顆粒和汙染程度,因此提供了卓越的設備性能、可靠性和屈服率。