二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9053770 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi設備是一種用於形成薄膜和外延層的反應器。該系統是一個高度緊湊、集成的化學氣相沈積（CVD）室，具有專利的自動加載機制。該裝置旨在提供快速、可靠的各種材料加工，如光學、光伏和有機半導體材料，具有精確度和可重復性。AMAT Centura Epi Machine被設計為在CVD條件下處理各種材料的先進多功能工具。此資產基於可靠可靠的機械設計,可輕松將單個組件集成到自動化生產過程中。模型的模塊化設計為滿足不斷變化的生產環境中的處理需求提供了靈活性和可擴展性。應用材料Centura Epi設備是使用不銹鋼和陶瓷部件制造的，這些部件能夠抵抗腐蝕、溫度沖擊和磨損。該系統專為各種材料和材料組合的高溫高壓加工能力而設計。該單元還具有低成本的柔性腔室設計，能夠沈積許多不同的層或材料。Centura Epi Machine的幾個關鍵部件包括模塊化兩區容器、供氣模塊、電源調節單元、真空泵和集成控制器。兩區容器是一種先進的密封室，將溫度和壓力均勻性傳遞到材料表面。供氣模塊供應加熱或冷卻的過程氣體，並允許快速的過程變化和快速的氣體切換。集成控制器直觀但功能強大,可以編程為自動執行多個過程步驟。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura Epi Tool還提供高級工藝控制功能,包括實時壓力和溫度控制以及多參數工藝監控。該資產還提供了一系列工藝選擇，如氮化物和低壓化學氣相沈積（LPCVD），以實現最佳膜的形成和控制。AMAT Centura Epi模型是用於形成薄膜和外延層的高度先進和通用的工具。這種設備對各種材料進行快速、可靠的處理,並采用低成本的靈活設計,以適應不斷變化的生產要求。它還具有高級過程控制和監視功能,以確保可重復和一致的性能。