二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9150159 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi是一種先進的反應堆，設計用於在基板上傳導半導體材料的外延（薄層生長），同時確保所得材料的卓越均勻性和質量。AMAT Centura Epi反應堆能夠在200°C至900°C的溫度範圍內生長材料，晶圓基板接觸均勻度± 5°C。專為降低缺陷密度，提高全過程產量而設計。反應堆緊湊，可用於各種半導體和材料加工作業。它有一個可流化床，可容納200克材料，有一個3英寸寬的床，以容納更大的樣品。床的設計是為了獲得基板的均勻處理，並提供高水平的過程控制。它配備了可控制腔室內加工條件的再循環風扇。儀器還配備了高溫電阻加熱器，在整個基板上提供高溫均勻性。功率單元可以精確控制整個爐膛的均勻流量,爐膛的範圍可達1200 W,從而確保高溫均勻性和工藝均勻性。APPLIED MATERIALS Centura Epi系統還帶有數位-視覺介面設計和改進的運動控制等多項進階功能。運動控制可以在手動和自動模式下準確控制過程時間。它還配備了具有集成反饋和分析功能的實時過程控制，允許更好的過程優化和控制。總體而言，Centura Epi是一個先進的反應堆，專為外延和其他半導體工藝而設計，使用戶能夠精確控制基板加工條件，並確保所得材料的卓越均勻性和質量。其緊湊的尺寸和先進的特性使其成為半導體和材料加工行業應用的理想解決方案。