二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9153809 待售
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ID: 9153809
System
(3) Chambers
Standard gas cabinet
Available:
UHP Gas cabinet
AccuSETT Control and nanovalves.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi是為先進半導體器件設計的高性能、低成本外延反應器。它利用先進的電極電介質技術為用戶提供生產超高頻和電力設備的經濟高效的解決方案。AMAT Centura Epi可用於GaAs和矽外延沈積過程,以及氧化物沈積和擴散退火過程。它有一個分體器設計,有一個分體環和旋轉臺,以及多個氣體入口和出口端口。這允許獨立操作多個過程,與進行晶片到晶片氧化的富氧選項。APPLIED MATERIALS Centura Epi專為最高生產力而設計,具有高速介電能力和雙磁控管頭,可高效沈積層狀結構。它具有高分辨率的快門組件,可以精確控制沈積參數。它還具有風冷和水冷電極,以及廣泛的腔室和線圈組件,以適應工藝要求。Centura Epi反應堆是一個高度穩定的系統,具有低頻加熱速率,以確保膜厚度均勻。其緊湊的設計使其能適應狹窄的空間,而先進的真空控制則提供了優化的工藝條件。反應堆還具有精確的溫度控制和高精度的電阻溫度探測器。該系統長期運行穩定,能夠在廣泛的處理條件下運行。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi反應堆還能夠對復雜結構進行工藝回收和原位沈積,從而獲得極其精確的結果。它旨在提供卓越的產品性能和環境可靠性,使其成為先進半導體器件生產的理想選擇。該系統設計用於精確控制關鍵參數,為最先進的半導體工藝提供無與倫比的性能。
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