二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9157497 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi是一種高溫加工工具，通常用於制造微電子、光電子和MEMS設備。它是外延沈積、擴散、離子植入等蝕刻過程的理想選擇，由於其可靠的性能、可重復性和長期的穩定性。該工具采用垂直熱壁、單晶片反應堆設計，最多可有兩個腔室，允許在一臺設備內進行多個工藝步驟，如預清潔和/或外延生長。腔室配有射頻動力外殼、負載鎖、排氣氣室和石英淋浴頭。可移動LN2冷卻的唇部將鎖載室與沈積室分開，從而可以引入基材。工藝溫度範圍為-150 °C至850 °C，允許廣泛的操作範圍。AMAT Centura Epi包括可編程控制器,允許用戶調整過程控制參數。它還可以使用遠程界面操作，允許用戶在遠離機器的同時監視和調整進程。該系統設計有汙染監視器，允許用戶反饋流程參數，以確保環境清潔。APPLICED MATERIALS Centura Epi可用於多種應用，包括介電沈積和氧化、絕緣子上矽（SOI）的產生、屏障層和低k介電的沈積，以及淺結的形成。最適合用於制造集成電路、半導體、光電、MEMS和其他類型的設備應用。Centura Epi提供了多種流程選項,例如批處理、順序處理和內聯處理。批處理包括將許多基板加載到設備上,將它們一起處理,然後一次全部卸載。順序處理允許一次處理單個基板。當過程集成到生產線中並且基板暴露於多個過程中時,將使用內聯處理。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura Epi提供了可自定義的設計,允許用戶將自定義組件集成到機器中,並定制工具以滿足其特定需求。其可靠性、可重復性和長期穩定性使其成為生產集成電路和其他半導體器件的可靠、通用的工具。