二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9211674 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi反應堆是一種定制設計和高度定制的外延生長工具,能夠在生產規模上生產高質量、均質的薄膜。該工具專為集成電路（IC）制造商設計,從晶圓到晶圓以及每個晶圓內提供精確、精確的薄膜厚度和均勻性。此工具的主要目的是為提高設備性能和可制造性創建更好的基板。AMAT Centura Epi反應堆是在半導體基板上生長高質量薄膜層的進化過程。它具有具有高密度等離子體源和單一晶片系統的雙基體沈積室。該工具徹底改變了epi增長,因為它可以在450mm和300 mm晶片上運行,並且能夠實現比以往更高的吞吐量。腔室絕緣良好，配有數字控制器和視頻監視器，實時監控過程結果。該反應堆具有多個頂端源，包括射頻和直流偏置源，能夠自動調整每個沈積循環之間的溫度和壓力。它還包括一個專利底物支架設計，以促進光滑，均勻的濺射沈積，產生一致的薄膜厚度和組成。此外,APPLIED MATERIALS Centura Epi對可能影響晶片質量的熱力學和動力學參數提供了如此精確的控制,即使在極端晶片尺寸或具有挑戰性的工藝條件下,它也能產生堅固和可重現的高性能epi晶片。CenturaEpi非常適合在用於IC制造過程的基板上生產薄膜層。憑借其創新的設計和易於配置以滿足IC制造商生產需求的能力,它為生產商提供了最新的外延技術,以提供出色的基板性能。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi可用於多種應用,包括但不限於MOSFET制造、低泄漏晶體管和高速互連。它為IC創造具有彈性和可靠的基板提供了有效的解決方案,使IC能夠在高溫和高壓環境中運行。