二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9215491 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi反應堆是一種用於半導體制造的垂直反應堆。它是一種沈積系統，用於在生產半導體芯片時使用的矽片上生產薄膜。Epi反應堆由三個主要部件組成：主室、主載流子和次級室。主室由不銹鋼構成，由兩個主要部分組成：放置晶片的頂部和容納晶片支撐載波的底部。主載波是一個由兩個旋轉木馬組成的系統，圍繞主室的周長運行。這個系統允許多層沈積在晶片上，因為它們傳播圍繞腔室。二次腔室裝有用於確保沈積材料沈積均勻的虛擬晶片。Epi反應堆通過創建化學氣相沈積（CVD）工藝運行。這一過程涉及在反應堆內放置帶有化學前體的氣體，如矽摻雜氣體或有機物。然後將氣體加熱到由過程決定的溫度。加熱的氣體與晶片反應，在其表面形成薄膜。這層膜的厚度取決於過程的溫度、晶圓在反應堆中花費的時間以及所使用氣體的化學成分。Epi反應堆是一個可靠的半導體生產工具，允許快速和一致的薄層沈積。它的高溫能力允許沈積更復雜的層，如不同材料的堆叠層。精確校準沈積溫度的能力和控制層厚度的能力使得層的產量高、質量高，使其成為半導體生產的重要組成部分。由於其頂級的安全特性和嚴格的維護檢查，Epi反應堆仍然是半導體工業中最可靠和最高效的反應堆之一。它簡單明了的設計和簡單的用戶界面，使其成為一系列生產需求的經濟高效的解決方案，其高溫能力使其能夠用於一些最先進的層結構和材料的沈積。