二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9229958 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi反應器是一種用途廣泛的下一代等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）機器,用於薄膜半導體的外延生長。設備經過優化，可提供最佳的均勻性、高通量和先進的工藝能力，以滿足要求苛刻的半導體器件應用。AMAT Centura Epi采用兩區架構，同時采用PECVD和Edge分級PECVD （EG-PECVD）工藝，用於薄膜半導體材料的質量沈積。該系統采用分體式腔室設計，確保有效的蒸氣輸送和材料放置到晶圓表面。這加上腔室的低壓操作提供了低應力水平和最小化的非均勻性可重復的結果。APPLIED MATERIALS Centura Epi能夠處理一系列的材料，包括矽、矽、和復合III-V化合物。另外，反應器具有執行二極管間隙填充、離子註入和電極沈積等過程的能力。該裝置旨在提供最新半導體器件應用所需的高純度、均勻性和高級工藝能力。Centura Epi反應堆非常適合多家公司之間的多種協作。它提供了高度的專業化和靈活性,使廣泛的用戶能夠為大規模生產構建自己獨特的流程。用戶還可以完全自定義其進程參數。最後，該機器配備了先進的過程控制系統，可監控過程性能並確保產品質量一致。它還提供了廣泛的集成診斷,包括詳細的實時配置文件測量和溫度映射。這有助於簡化生產過程並提高生產效率。