二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9236844 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi是一種外延反應器，設計用於在基板上產生外延層材料。采用AMAT Centura Epi設備制造的外延層比通過化學氣相沈積（CVD）和物理氣相沈積（PVD）等其他沈積方法獲得的外延層具有更好的性能特性。開發該系統是為了提供一種快速、可靠、經濟高效的方法來生長厚度和組成均勻的外延層。應用材料CenturaEpi單元由反應堆室和真空機兩個主要部件組成。反應堆室是一個圓柱形的高真空室，有一個加熱的基板支架，一個成角度的氣體分配板，以及安裝在腔室上部的4-6個電極系統。真空工具通過粗糙泵送、渦輪泵送和冷凍泵送的組合在腔室中產生真空。Centura Epi資產可以在高達1000 °C的溫度下使用各種工藝控制參數和基板操作。沈積過程是通過將一系列反應物引入底物支架而在高度疏散的反應堆室內啟動的。過程控制器調節每種反應物的流動和組成。反應物在底物表面上相互作用並形成外延層。該層的生長速率可以通過調節反應物比和底物溫度來控制。在一些應用中，還可以通過仔細控制反應物的流動形成不同材料的超晶格。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi模型具有較高的沈積速率、良好的厚度均勻性和較低的粒度以及尖銳的界面。也可用於材料選擇性好的薄膜沈積。該設備能很好地控制雜質摻入、低表面粗糙度和低溫沈積，使其適用於III-V氮化物或高K電介質等敏感材料。此外，AMAT CenturaEpi系統對各種尺寸基板上高質量外延層的快速生長也是有效的。該單元的輸出可用於高頻設備制造、高級內存平板顯示器和存儲設備等多種應用。