二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9238130 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi Reactors是氣體外延系統,旨在以偽批量模式運行,以生長平面、復雜或復合外延層。Epi反應堆是為了在矽、的、金剛石、硒化鋅等材料上進行高端外延研究和生產而設計的。該設備采用集成的可調激光或光發射光譜（TLS/OES），對系統中的成分進行實時監測，並檢測反應堆中的反應條件。這增強了設備的性能,使其能夠進行高端生產,同時提供準確的過程控制。AMAT Centura Epi反應堆是圍繞AMAT Pro系列反應堆設計而設計的。這包括更大的石英鎖載室、更容易操縱晶片的大型加工晶片區域和用於強勁生長的吡咯烷板等特點。吡咯烷板提供反應物均勻分布，完全暴露於徑向外延燃燒器。與圓柱形反應器設計相比，吡咯烷板得到了改進，消除了徑向燃燒器引起的熱點效應。APPLIED MATERIALS Centura Epi Reactor還提供了一個雙源石英電弧燈，用於在多種材料上沈積，允許高重復性，以提高產量和工藝控制。此外，該裝置還提供了一個六通道質量流控制器，用於精確控制進入反應堆的氣體，對機器中的活性材料進行高端控制。這使得它成為高效研究和高產生產工具的理想選擇。該工具還提供了圖形用戶界面（GUI）和Process Sequencer體系結構,允許用戶在確保可靠且可重復的結果的同時,對增長過程進行不穩定的控制。此外，GUI允許用戶輕松調整廣泛的資產設置，以完美匹配每個基板和增長過程的要求。Centura Epi反應堆能夠高通量、堅固和可重復生產高端外延層，同時確保模型中的成分得到精確監控。該單元提供了一個全面的特點，精確控制外延生長過程，確保優越的效果。這使得AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi Reactor成為高端外延研究和生產的理想選擇。