二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9282867 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi是一種使用化學氣相沈積（CVD）工藝在基板表面上生長薄膜和材料層的反應器。反應堆主要用於半導體和電子工業，用於介電和金屬薄膜的沈積。該反應堆是為高通量應用而設計的，具有高精度和重復性。AMAT Centura Epi反應堆設計有可調節高度加熱的靜電卡盤基座，允許使用廣泛的基板尺寸和配置。還提供了一個用於基板加熱和冷卻的綜合設施，以確保可重復的過程，而可選的冷凍氣體選項確保了室內的精確溫度控制。另外一個特點是石英襯裏的除蟲菊酯沈積室，它最大程度地減少了對基材和薄膜的汙染。反應堆還配備了幾個原位監測裝置，包括熱導傳感器和電容監測儀，以便在沈積過程中提供連續和準確的原位數據。可調反應性原子通量監測儀有助於優化薄膜未反應的種類，並且光學密度檢測系統允許評估薄膜粘附和厚度。APPLIED MATERIALS Centura Epi反應堆通過其內置的Epicenter平臺提供了高度的過程自動化。震中是一個強大的集成過程控制系統，允許對沈積過程進行遠程監控，集中控制配方和過程參數。該平臺還實現了高效的配方管理,高級診斷提高了流程的可重復性和可靠性。CenturaEpi是一種用途廣泛且可靠的反應器，非常適合從半導體制造和電子裝配到先進薄膜沈積等應用。其精密、自動化和模塊化的結合，使反應堆成為半導體和電子工業大批量生產和研究的絕佳選擇。