二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epsilon / 0010-42572 #9199307 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epsilon/0010-42572是一種單晶片反應器，旨在為諸如砷化的、磷化的（InP）等復合半導體材料提供紫外線處理。該設備采用專利雙級加熱系統，提供精確的溫度控制和高重復性。它配備了三個紫外線源的獨立歧管；金屬鹵化物、二極管和激光。每個來源都可以單獨控制和優化，以便進行高產加工。該裝置還采用風冷高頻電源，可實現低反射功率和高功率穩定性。它包含由高溫計控制、閉環爐和平臺溫度組成的溫度控制結構。此外，該機器還包括一個低振動晶片平臺和溫度交換器，以確保整個晶片的溫度均勻。Centura Epsilon具有高度的靈活性和用戶友好性。它支持各種晶圓尺寸，可用於各種紫外線處理應用。它還具有允許用戶將其集成到現有處理環境中的標準界面。此外,還提供了一個可選的加載端口,用於自動加載和卸載晶片。總體而言，AMAT Centura Epsilon/0010-42572是一種先進、高性能的單晶圓反應堆，設計用於對復合半導體材料進行紫外線處理。它提供靈活的控制參數以及精確的溫度控制和調整,從而實現強大且可重復的性能。
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