二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Etch #293798847 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Etch是一種高度精確的半導體蝕刻工具，用於現代半導體加工。這種蝕刻器能夠對半導體材料進行可重復、精確的蝕刻。它基於氣體化學、電子束和先進蝕刻系統工程的專利組合。除了首先沈積PECVD氧化物以實現安裝的氧化物掩模進行蝕刻的基本工藝外，該蝕刻器還提供晶圓的電偏置，以更好地控制蝕刻剖面和地形。該工具的設計目的是使各種晶圓厚度和尺寸能夠在30至1100毫米之間應用蝕刻配方。AMAT Centura蝕刻工具的主要目的是將一層或多層蝕刻到基板中，以達到精確的特征幾何形狀，包括淺溝槽隔離（STI）和高長寬比接觸蝕刻。創建接觸孔和更緊密通風的功能可減少後端應用程序中的浪費空間,從而提高設備性能和區域效率。蝕刻器也非常適合通過需要精確蝕刻輪廓和深度的蝕刻進行後端。由於其高長寬比，蝕刻器對於創建最小線寬小至30 nm的深層結構如vias和地板平面像素特別有用。APPLIED MATERIALS Centura蝕刻工具還能夠產生耐久性超過傳統氣體系統產生的等離子體一百倍的等離子體。這樣可以提高可靠性並降低生產和維護成本。此外,該工具還具有高級工藝可擴展性,可用於多達11個並行晶片處理的工藝室,從而提高了吞吐量效率。Centura Etch還提供了高級自我調整功能,可自動調整工具的參數以確保最佳蝕刻性能。此功能可對批量內變化最小的各種材料進行高精度蝕刻。此外,高級監控系統簡化了監控和操作,減少了維護的停機時間。總之，AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Etch是一種高度精確、經濟高效且可靠的半導體蝕刻工具，允許對蝕刻材料進行可重復的精密蝕刻。它為擴大生產節點以滿足現代和新興半導體應用的高需求提供了廣泛的選擇。