二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Gigafill #9222476 待售

ID: 9222476
System Not included: Process kit Heater Induction valve LFM.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Gigafill是一種化學反應器,設計用於沈積和蝕刻工藝等半導體制造應用。反應堆利用一個大直徑的反應室來容納廣泛的基板陣列,同時允許有效的熱管理。其特點是獲得專利的創新,如中心柱,確保底物在反應表面上的均勻放置,以提高膜的均勻性。此外,AMAT Centura Gigafill還提供了一種反應室排氣設備,能夠使空氣快速流動,使溫度分布均勻。這個先進的反應堆系統也有集成的診斷,提供過程性能的實時反饋,以方便快速的過程優化。它結合了專門的反應堆瓷磚材料,以確保高質量的工藝穩定性和可靠的薄膜沈積。該裝置還具有過程監測、控制和同步功能,可精確調整反應堆條件以優化性能。此外,APPLIED MATERIALS Centura Gigafill的模塊化設計允許方便的維修和維護,並且為了最大限度地提高正常運行時間,它提供了一個自動清潔機,旨在減少顆粒堆積。Centura Gigafill具有完全集成的控制平臺,具有自動診斷和實時輸出功能,可為用戶提供最新的狀態信息和報告。它還包括能夠精確控制反應堆環境的先進程序和登記控制選項。因此,用戶甚至可以運行最復雜的加工配方和條件。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Gigafill的靈活性還允許用戶以最小的停機時間在不同的工藝配方之間切換。AMAT Centura Gigafill被設計為用於半導體制造的可靠、經濟高效的反應堆工具。它具有先進的反應堆控制、監測和同步特性,能夠生產出具有改進的均勻性和工藝穩定性的優質薄膜。對於希望優化工藝和加快生產速度的研究人員和工程師來說,這是一個理想的反應堆。
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