二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HDP #9142606 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP（高密度等離子體）反應器是一種設計用於半導體晶圓加工的多用戶工具。它被用於生產多種高性能集成電路，包括高級內存和邏輯設備。AMAT Centura HDP反應堆是一種電容耦合等離子體（CCP）反應堆，意味著它依靠電場在工件上創造和維持等離子體。它能夠在0.001 Torr和0.2 Torr之間的壓力下運行矽烷（SiH4）、氮（N2）和氙氣（Ar）等工藝氣體。這種廣泛的壓力級別允許創建需要嚴格的過程指導原則的高級設備的理想過程。反應堆的工作原理是在一個腔室內創建一個等離子體，然後當它越過等離子體時會暴露在晶圓中。反應堆提供了對等離子體體積和溫度的高度控制，允許有選擇的蝕刻和沈積與精確的參數。使用APPLIED MATERIALS Centura HDP反應堆創建的等離子體能夠處理從前端到後端、從單層到多層設備的多個層次的材料。Centura HDP反應堆使用先進的模型控制設備運行。該系統允許通過模擬、實驗和實時過程監控的組合來優化過程配方。該單元還允許用戶微調反應堆的運行條件和腔室配置，允許復雜的工藝序列。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP反應堆設計用於清潔室內環境，由抗紫外線、耐腐蝕材料制成，使其在高溫、高真空條件下能可靠地運行。此外，該機器旨在減少危險化學品的使用，降低汙染風險，降低成本。AMAT Centura HDP反應堆是生產高級內存和邏輯設備的理想工具，因為它具有高度的控制和靈活性以及可靠的性能。它的多用戶功能和復雜的過程控制工具使其成為半導體制造的理想工具,允許生產功能復雜的高性能設備。