二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HDP #9188710 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP反應堆是一種設計用於微電子生產的高密度等離子體（HDP）設備。該反應堆具有極端的處理溫度和壓力水平，能夠在微電子工業中廣泛應用。HDP系統利用磁化圓柱形等離子體腔室，其中惰性氣體和加工氣體的混合物使用高功率射頻（RF）源進行加熱和電離。射頻源提供的能量激發氣體粒子，進而通過重組釋放其能量，形成長壽命的非熱等離子體。等離子體然後被用來蝕刻、沈積或以其他方式以極高的精度加工各種材料的基板。AMAT Centura HDP反應器設計用於微電路制造過程,對工藝參數提供了更好的控制,從而提高了基板性能。其高效的冷卻單元和低除氣使得濕清洗、幹蝕刻和氧化過程有多種工藝選擇。該機器還提供了多種安全功能,能夠在具有多個操作員的環境中進行高效操作。先進的診斷工具可以精確監測工藝參數並促進持續優化。此外,該資產還利用獨特的天線設計來提高精度,並采用先進的屏蔽技術來降低噪聲水平。應用材料Centura HDP反應堆在微電子制造過程中產生精確、高性能的基板。這是由於其精確的功率控制、優越的過程控制和低噪聲操作而得以實現的。這些特點伴隨著自動清洗過程和閉環安全系統，確保了最高水平的基板性能得以維持。反應堆還具有用戶友好界面和若幹數據記錄功能，可實現優化結果。這使得該模型可以用於從低通量研究要求到大容量微電子生產的應用。