二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HDP #9233062 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP是為半導體制造而設計的高密度等離子體（HDP）蝕刻反應器,其器件特性尺寸低於1 µm臨界尺寸。HDP設備利用一個基於氫氣的十三級工藝室來產生極均勻、小的特性，並具有最小的過度蝕刻，從而使設備性能更好。該反應堆通過廣泛的配方控制選項提供了極好的工藝靈活性，使其可用於光刻膠圖樣制作、高k電介質蝕刻和銅去除等多種應用。HDP系統允許對結構進行無約束的三維蝕刻,從而能夠制造高長寬比特征,並具有出色的可重復性。此外，該裝置的設計目的是減少顆粒物和揮發性副產品的排放，以保持安全和清潔的運作。AMAT Centura HDP利用Endura Multi-Chamber蝕刻機和傳輸模塊兩個連接組件。Endura工具由一系列腔室組成，允許多級沈積、蝕刻和清潔過程，而不會中斷過程步驟的鏈條。資產有13個腔室，包括一個工藝腔室、冷卻蝕刻炮塔、石英冷壁和用於晶圓轉移的反應管。通過使用先進的射頻電源，可以精確控制配方，使高密度等離子體技術成為可能。此外,Auto Endpoint Detection（自動端點檢測）模型有助於對流程進行現場監控,從而實現最大吞吐量和最小的維護。傳輸模塊包含晶圓傳輸設備，實現晶圓的高速裝卸。該系統還設有集中式布線控制器、安全互鎖和專用冷卻單元，以確保晶圓的安全可靠處理。此外，該機器還配備了一個寒板清除站、一個冷氣源、一個遠程計算機界面和用戶定義的配方。最終，應用材料Centura HDP是一種通用、高效的半導體加工HDP蝕刻反應器。它的高級功能和對配方的嚴格控制允許生產超小型設備的功能,以及為安全可靠的工作環境盡量減少排放。