二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HDP #9249365 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP（高密度等離子體）反應器是一種完整的蝕刻解決方案，旨在在高通量下提供高產產量。這個先進的反應堆能夠處理範圍廣泛的材料，如III-V、矽​​金屬、III-B類金屬及其氮化物，以及其他化合物材料。它配置了優化的源-排水-蝕刻過程,以減少整個蝕刻周期的時間。AMAT Centura HDP配備了開關頻率較高的直流射頻電源，以及用於改善蝕刻均勻性的MC-Plasma源。直流電源還有助於實現更高的蝕刻速率和工藝均勻性。此外,APPLIED MATERIALS Centura HDP能夠通過精確的等離子體蝕刻循環實現更高的精度。MC-Plasma的兩頻兩相調諧配置有助於減少蝕刻時間，同時確保高度均勻性。Centura HDP具有多頻等離子體源，設計用於調節和穩定等離子體密度，以產生高精度蝕刻結果。它還提供了先進的閉環水平晶圓傳輸設備，有助於確保高工藝均勻性。其不銹鋼石英室有助於保護腔室表面並保持正常運行時間。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP維護水平低,可靠性高。其內置的計量工具測量蝕刻線的微粗度，確保最精確的蝕刻可能。此外，該系統還包括一些處理配方，以完全控制蝕刻過程。該裝置還帶有一個基於GUI的控制界面,允許快速設置、簡化操作和簡化閥門控制,以便快速更改蝕刻參數。總體而言，AMAT Centura HDP是一種先進的蝕刻反應器，它的高密度等離子體源、多頻等離子體源、閉環水平晶片傳輸機和不銹鋼石英室提供了卓越的工藝能力。它是一種可靠的解決方案,可提高產量並縮短整個蝕刻周期的時間。它還帶有一個基於GUI的綜合控制界面和處理配方,可以完全控制過程。