二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HT #9206303 待售

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ID: 9206303
晶圓大小: 6"
Poly process chamber, 6" Convertable to 8" Frame: HT WBLL.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HT是一種全自動反應堆設備,旨在為各種II-V和III-V材料提供高通量處理能力。AMAT Centura HT由幾個組件組成,包括一個加工室、一個底座單元、一個真空室、一個負載鎖和一個控制器。加工室采用不銹鋼制成,主要用於高溫基材加工。設有氣體輸送系統、加熱元件、溫度控制單元。它設有一個查看過程結果的大窗口,以及一個易於控制流量和壓力的氣體管理機器。基座單元容納所有電氣部件,如控制器和電源,以及各種氣體入口和出口。它還提供了與真空室和負載鎖的連接。此單元由圖形用戶界面控制,允許用戶為特定進程選擇所需的參數。它還包括安全聯鎖。真空室位於反應堆頂部,用作隔離室。它由不銹鋼制成,有一個特殊的設計,盡量減少大氣汙染物進入腔室。它還具有氣體管理工具,並包括一個壓力調節器,以幫助調節室內的壓力。載荷鎖是放置晶片的反應器的入口點。它由聚碳酸酯制成,提供了一個安全的門,以防止工藝室受到汙染。負載鎖配有惰性氣體氣氛,有助於減少汙染。控制器是管理和控制整個資產的地方。它位於基礎單元內,負責爐的運行。它具有圖形用戶界面,允許用戶編程和控制過程的各種參數。APPLIED MATERIALS Centura HT是一種高效可靠的高通量II-V和III-V材料處理工具。它配備了多種功能,可幫助確保在短時間內獲得質量效果。因此,這種反應堆模型非常適合在研究和工業環境中的應用。
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