二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura I DPS+ #9093402 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura I DPS+是一種高效、基於團隊的PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）反應器，旨在滿足超高長寬比處理要求。DPS+采用400mm平臺和多站設計,每個平臺最多可集成五個工具,是多薄膜區域混合集成的理想選擇。DPS+的核心是世界級的AMAT Centura I HD PECVD處理技術。它旨在提供卓越的薄膜均勻性、可重復性和較高的沈積速率。靈活的設備設計允許將多達五種工具集成到一個平臺中,並提供了采用最新合金加工技術的選項。這種多站功能非常適合MEMS（微機電系統）或FEOL（前端線）開發等需要不同晶片上不同沈積層的應用。該系統還包括一個獨特的反應物單元，使反應物混合物易於操作。這允許用戶調整沈積參數，如速率、保形性和吞吐量。此外，該機還采用分體式晶片盒式磁帶快速裝入連續晶片，以簡化晶片處理，提高生產效率。該工具還具有實時流程監控功能,具有全面的反饋系統,可提供有關流程條件的詳細信息,允許用戶根據需要調整參數。此外,它還配備了先進、用戶友好的IT基礎架構,可輕松將數據和文件集成到資產中。這將提高模型的生產率,並有助於確保產品質量一致。總體而言,AMAT Centura I DPS+是一種高效且用途廣泛的PECVD設備,旨在滿足各種高級沈積應用的需求。DPS+憑借其廣泛的能力、瞄準多層薄膜堆棧的能力、高吞吐量，是MEMS、FEOL處理等應用的理想反應堆。