二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura I PH2 #9227307 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura I PH2 Reactor是用於生產半導體和存儲器件的通用工具。反應堆使用磁約束等離子體在半導體基板上沈積薄膜。AMAT Centura I PH2配備了200MHz Powerline™過程控制管理軟件，能夠控制多達四個等離子體源。反應堆室的溫度範圍為-25 °C至40°C，其尺寸為直徑14英寸（35.56厘米），高度18英寸（45.72厘米）。應用材料Centura I PH2反應堆使用磁性限制設備將材料蝕刻和沈積到半導體基板上。該系統使用一組集成的電磁體，產生包含和修改等離子體的磁場。這些場創建一個穩定的環境，並在整個基板上提供均勻的溫度。這使得Centura I PH2在晶圓處理過程中保持高度控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura I PH2反應堆的腔室完全封閉，化學惰性。它還有一個用於輸送惰性氣體的加壓輸送裝置。這臺機器有助於保持等離子體的均勻性和沈積在晶圓表面上的薄膜的厚度。它還確保沈積過程中使用的氣體不被環境空氣汙染。AMAT Centura I PH2 Reactor還配備了高性能的火炬，用於將等離子體引向晶圓。火炬能夠傳遞能量通量到4W/cm2，並且能夠處理任何尺寸可達200毫米的基板。火炬以6m/min的速率將等離子體引向晶片。APPLIED MATERIALS Centura I PH2 Reactor是用於制造半導體和存儲器件的最先進的工具之一。它在沈積過程中提供了卓越的控制，能夠在整個基板上提供均勻的結果。該工具還能夠處理各種材料，包括金屬、電介質和納米材料。