二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II 5200 #293819421 待售
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ID: 293819421
晶圓大小: 8"
優質的: 2019
Metal etchers, 8"
(2) Dual wide body chambers, DPS / DTM
Usage: ~50,000 wafers run
APEX 5513 RF Generator
MKS GHW12A RF Unit
Gas set: CF₄, O₂, CHF₃, N₂, SF₆, Ar, HBr, Cl₂, C₄F₈
EBARA Pump
SBC
2019 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura II 5200是一種物理氣相沈積（PVD）工藝工具，用來製造超細半導體器件。它是一種先進的工業工具，旨在為需要比其他標準PVD系統更嚴格性能的晶體管、存儲器和集成電路的大批量生產做出貢獻。AMAT Centura II 5200具有並行的高真空室設計，帶有後載機器人，方便晶圓運輸。這個機器人可以同時容納一個200毫米晶圓或兩個較小的晶圓，使系統能夠處理大批量生產。該工具配有高真空泵，包括渦輪分子泵送系統和擴散/渦旋組合泵。它還配備了一個MultiHead Source，在一個行星軌道上提供最多四個源，在一個公轉中覆蓋晶圓周圍高達270度。APPLIED MATERIALS Centura II 5200能夠在各種腔室配置、材料、氣體和壓力條件下運行。它具有自動壓力控制和高精度快門，可確保在各種閘門應用中保持一致和可重復的薄膜厚度沈積。此外，它還通過先進的準直和旋轉控制保證光滑的表面光潔度鍍層。該工具還提供高級Web監控軟件、自動晶圓跟蹤和工具狀態,以確保膠片覆蓋範圍一致。總體而言,Centura II 5200是一個高級PVD系統,旨在滿足質量和吞吐量性能要求。它能夠處理精細的沈積過程，並創造出超薄的半導體器件。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II 5200具有一系列功能和高級性能,使用戶能夠獲得最高的生產產量。
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