二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS+ #293608752 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS+是一種創新的等離子體蝕刻反應器設備，設計為一種超高性能的設備，用於材料的高精度蝕刻。該系統的設計是為了在蝕刻半導體基板時達到最高精度和性能水平。AMAT Centura II DPS+具有改進的封閉式設計,可最大程度地減少排氣和操作員安全風險。腔室的熱壁設計提高了等離子體均勻性，顯著減少了對基材的熱沖擊。所有材料都通過淋浴頭加工，而不是定向蝕刻，後者在基板上提供均勻的蝕刻輪廓。APPLIED MATERIALS Centura II DPS+單元有幾個控制,可以精確調整蝕刻過程。這些包括調節工藝室溫度、氣流和電壓的能力。溫度、氣流、電壓針對特定應用進行了優化，包括深溝蝕刻、高速蝕刻、縱橫比蝕刻。Centura II DPS+的可燃氣體排氣保持嚴密控制，確保操作人員的最高安全水平。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS Centura II DPS+使用先進的閉環控制機，允許對過程進行錯綜復雜的控制。AMAT Centura II DPS+還包括增強的光學和角度氣體線以提高軸均勻性。刀具的光學元件也增加了吞吐量,並提高了蝕刻質量。APPLIED MATERIALS Centura II DPS+與AMAT FOBOS（全自動多操作流程資產）完全兼容，使多個操作自動化。此自動化模型旨在確保多批產品的質量一致,並盡可能提高產量。總體而言，Centura II DPS+是一種先進可靠的等離子體蝕刻反應器，能夠對半導體基板進行高精度蝕刻。它具有高度自動化和可調的工藝室，增強的光學和角度氣體線，以及閉環控制設備。該系統還與APPLIED MATERIALS FOBOS完全兼容。所有這些使得AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS+成為一系列蝕刻應用的完美解決方案。