二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS #9182836 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS Reactor是一個可變壓力外延（VPE）室，設計用於沈積III-V材料如磷化銨（InP）及其合金。它具有溫度範圍為70°C至3000°C的「熱中性冷」源，適合高溫和低溫沈積技術。反應堆還配備了先進的自動晶圓交換設備，使晶圓裝卸成為一種微風。最大磁感器尺寸為200 mm，可用於沈積多種圖案的復雜結構。腔室本身為21 "x 26" x 25"，最大操作壓力為3 Torr範圍。它還包括一個等離子體發生器，用於高達100W的氮化物沈積。先進的氣體混合系統允許對氣體消耗進行精確控制，從而能夠對材料摻雜劑濃度進行高度精確的控制。該設備具有直觀的用戶界面,允許輕松設置參數,以及帶有觸摸屏顯示屏的板載計算機,可查看當前情況並保存配方。對於沈積，AMAT Centura II DPS反應堆可以使用液體或蒸氣輸送機。液體輸送工具使用計量資產和溫度控制器來精確控制物料流動。蒸氣輸送模型具有加熱的輸送線和泵，使材料保持在所需的溫度。APPLIED MATERIALS Centura II DPS Reactor還具有先進的安全系統，包括一個在意外壓力尖峰前將腔室撤離的快速釋放設備和一個內置的滅火系統。Centura II DPS反應堆結合了先進的系統，是復雜沈積任務的絕佳選擇。