二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II eMax #293697178 待售
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ID: 293697178
System
Orient chamber
VHP Robot
Loadlock type: Widebody
EPD Controller (Hot pack)
(3) eMax Chambers
ENI OEM 28B Generator
STP H1603 Turbo pump
V452 SBC
System controller
Primary / secondary rack
No MFC.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMax反應堆是半導體加工反應堆中的行業領導者。它提供可靠、高質量的性能,並考慮到現代技術需求而設計。AMAT Centura II eMax利用一種新型的不對稱靜電卡盤(ESC),以最大限度地提高晶片在加工和冷卻階段保持在安全位置的均勻性。ESC技術防止了過程引起的扭曲,增加了膜的均勻性。由於其符合人體工程學的小型設計,APPLIED MATERIALS Centura II eMax優化了制造地板空間。Centura II eMax可以加工半導體制造中的多種材料,包括多晶矽、二氧化矽、矽酸磷玻璃、金屬層和聚酰亞胺。尖端技術允許生產薄膜、復雜晶片和納米結構(如FinFET)、3D互連和超越CMOS技術。該系統設計用於各種基板,從用於移動技術的低溫薄膜到用於先進100 mm和200 mm技術的高溫薄膜。其製程範圍涵蓋-95°C至+850°C之間的溫度,並能夠在單一沈積中處理厚度達6 µm的薄膜。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMax還提供直觀設計的集成過程控制軟件,易於調節和配置。該軟件允許操作員和工程師在溫度、壓力和其他工藝相關參數方面快速調整和微調參數。這確保了反應堆的可重復、可靠和高效運行。AMAT Centura II eMax是一種電絕緣熱反應堆,使其高度安全。特殊的特點,像惰性邊緣技術,大大減少潛在的微汙染和顆粒清潔膜。此外,其他安全功能,如自動緊急關機和集成傳感器,為操作員和系統提供了額外的保護。由於其卓越的性能和工藝一致性,APPLIED MATERIALS Centura II eMax是開發先進半導體技術的絕佳選擇。快速響應時間、高度工藝優化和直觀的軟件相結合,使Centura II eMax成為當今市場上最可靠、效率最高的反應堆之一。
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