二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II eMax #9247556 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMax反應堆是一種用於薄膜結構小規模生產的下一代沈積工具。設計用於半導體器件的制造和材料分析.該工具具有最先進的工藝室,具有高溫和高壓功能。它具有高水平的沈積工藝性能，精度和精度可達20納米。AMAT Centura II eMax配備了自動化的單晶圓和雙晶圓（完整晶圓ArF）裝載設備。組件晶片快速安裝到高性能踏板上。晶片床在轉移到沈積室之前旋轉並鎖定在磁力驅動的邊緣法蘭上。它具有改進熱性能和穩定性的先進的感應懸浮液，以及電子回旋共振等先進的沈積技術。APPLIED MATERIALS Centura II eMax還具有廣泛的過程控制系統。這包括控制壓力和溫度的集成系統，以及內置質譜儀的主動等離子體監測。該單元包括一臺用於沈積室壁的多地跟蹤監測機，以確保在晶片上均勻沈積。Centura II eMax反應堆包含多種安全特性。它配備了多個安全關閉傳感器、自動壓力和溫度報警器，以及集成的接地系統。它還具有全自動晶片清洗過程,以確保設備性能一致。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMax是用於小規模生產的可靠、經濟高效的沈積工具。是半導體器件制造、半導體材料研究、復雜結構薄膜沈積的理想選擇。該工具提供了高性能和精確度的工藝優化，以及各種工藝控制選項的精密沈積。