二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II #9137520 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II是專門為化學氣相沈積（CVD）、化學機械平面化（CMP）和原子層蝕刻（ALE）應用而設計的反應堆。它是利用化學和機械工藝制造和精煉半導體器件的單晶圓加工設備。該系統配備了強大的4.5 kW源發生器，允許高沈積速率和高精度蝕刻。AMAT Centura II采用了專有的Multi-Chamber設計，允許對每個腔室進行獨立控制，最大腔室壓力高達6 Torr。該裝置還包括一個獲得專利的氣體輸送機，確保在整個過程中一致的氣體混合物。APPLIED MATERIALS CENTURA-II反應堆安裝的腔室尺寸可從50毫米腔室到500毫米腔室不等，具體取決於用戶的需求。它具有溫控晶圓高溫計、速控旋轉和慢跑階段以及終點檢測等一系列先進功能。這種精確的控制和精確度允許高度精確和可重復的過程。AMAT CENTURA-II反應堆的設計使自動化過程具有運行到運行的過程控制能力，使其適合大批量生產。它基於與centura實驗室系統相同的真空技術和硬件,從而實現了極大的可擴展性,並實現了從實驗室到生產的過渡。為了過程安全，CENTURA-II反應堆有一個內置的診斷工具，提供關鍵操作參數的監控，如壓力、溫度和氣體分布。該資產還包括用於遠程查看模型條件和控制器參數的高級監視顯示。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA-II是一種用途廣泛、可靠、功能強大的反應堆設備，適用於一系列CVD、CMP和ALE應用。憑借其專利功能和高級控制功能,APPLIED MATERIALS Centura II是半導體器件制造的寶貴工具。