二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II #9140763 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura II是用於制造集成電路（ICs）的大批量制造的半導體基板加工反應器。是原Centura反應堆的進階版本。AMAT Centura II是一種集群型設備，配有四個獨立的負載鎖室和兩個工藝室。載荷鎖用於從反應堆引入和去除底物。載荷鎖采用刀刃門閥，在保持工序環境清潔和防止汙染的同時，為工序室提供真空隔離。這確保了工藝室內的高度環境控制。工藝室設有負載監測系統，記錄所有工藝相關數據，包括每個周期的溫度和壓力數據。這些數據用於監測和優化反應堆的整體性能。APPLIED MATERIALS CENTURA-II反應器配備了一個可生產氧化矽、氮化矽和許多其他用於IC制造的介電材料的薄膜沈積室。沈積室設有高純度氣體進料單元和均勻淋浴頭，可持續高溫沈積。APPLIED MATERIALS Centura II還配備了一個用於反應性離子蝕刻（RIE）的蝕刻室，該蝕刻室從工藝室中去除不需要的材料。該腔室配有高速等離子體源和磁場發生器，產生均勻蝕刻。磁場用於提高基板表面的均勻性，提高蝕刻速率和均勻性。腔室還配備了大功率射頻源，提供穩定的等離子體均勻性和均勻蝕刻。CENTURA-II反應堆還配備了Novellus專有的非平臺清除（OPP）機。OPP工具由一個完全集成的腔室組成，不需要額外的加熱傳遞腔。這種先進的燃氣室有集成的氣體射流和氣體再循環資產，它們共同用於清除燃氣室中有害的副產物並減少寄生損失。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA-II專為大批量生產而設計,能夠在高溫和高壓下運行,且停機時間最短。它的設計采用先進的控制和診斷系統，使其成為一個高度可靠和成本效益高的底物加工反應堆。