二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura IPS #293761026 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura IPS是為半導體制造工藝設計的一種創新型反應堆。IPS是具有Epsilon 02-3 Fusion™氣體輸送和集成晶圓加熱功能的單晶圓設備，結合精密半導體制造的過程控制和自動化平臺。IPS由幾個單獨的組件組成,這些組件協同工作以實現各種高性能過程。IPS的主要部件是帶有400兆瓦射頻發電機的封閉式熱室，能夠快速的溫度和壓弧。這個熱室內部是一個氣體輸送系統，有專門設計的專有氣體入口和出口端口的布置。這也有助於營造高純度、低電阻的大氣環境，使其成為高性能半導體材料加工的理想之選。IPS還具有高性能的Endura IX+動力平臺,具有氣體註入組合、熱線加熱和自動光學傳感功能。這樣可以實現更快的處理速度和更好的過程控制。包括各種精密定位階段，以促進離子植入的均勻性。IPS由基於PLC的自動化單元驅動,允許對流程進行精細控制,在配方編程方面具有更大的靈活性,並能夠實時監控和調整流程。此外，IPS配備了一系列的計量工具，使得監測過程的進展和處理各種校準任務成為可能。除了能夠處理各種不同的材料外,AMAT Centura IPS是一款高效、用戶友好的機器,其設計符合更高的安全標準。它旨在提高工藝性能和提高產品質量,同時提供無與倫比的精度和準確性。