二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura IPS #293829876 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura IPS （Integrated Process System, Integrated Process System, Integrated Process System）是一種先進的濺射系統,專為用於半導體制造的薄膜沈積而設計。它是一個完全集成的平臺，允許在一次運行中將多層材料同時沈積到基板上。IPS為可靠準確的沈積提供了一個易於使用的平臺。IPS最獨特的特點是其專利的濺射蝕刻技術。這項技術允許單步完成層沈積和蝕刻清洗，減少生產時間，提高效率。這樣可以提高吞吐量並提高產量。此外,IPS還能夠創建復雜的分層結構,例如對超低k介電材料至關重要的銅-銀-金。IPS還具有多種高級流程控制功能。其閉環射頻功率控制（Closed Loop RF Power Control, CLRPC）允許對其每個目標進行精確的功率電平控制和精確的磁場控制，以保持沈積速率、蝕刻速率和電離反應物質形成之間的均等。這樣可以減少不受控制的變化,並保持更高級別的產品完整性和可重復性。IPS還提供快速轉換功能,以提供配方控制的過程條件,從而顯著節省成本和可擴展性。其自動化和統一的配方進一步簡化了流程，減少了流程時間和廢料產量。IDP驅動器還可以適應多種技術的傳輸、對準和定位，不需要人工幹預。AMAT Centura IPS是用於可靠沈積復雜薄膜結構的多功能工具,具有內置的高級過程控制功能、自動化過程氣氛控制以及增強的數據采集和處理能力。IPS可確保快速的設置更改和周期時間,從而提供盡可能平滑的晶圓到晶圓過程控制。這使得它成為半導體制造中超低k電介質和其他組分材料沈積的理想解決方案。