二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MCVD #293595636 待售
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ID: 293595636
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
CVD Systems, 8"
WxZ Optima process
(4) Chambers
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MCVD是一種化學氣相沈積(CVD)反應器,設計用於生產用於集成電路制造的重摻雜外延膜。它由控制單元、電源、沈積室和晶圓處理工藝組成。控制單元管理沈積時間、溫度、壓力、反應物氣體等操作參數。它包含一個帶有操作員接口和PLC編程的小型微處理器。控制單元還包括測量裝置、閥門和一個數據存儲系統,用於監測反應堆中的操作。電源提供運行反應堆中各種部件所需的電力。它設計用於提供電壓和頻率可調的交流電,以保持沈積室中的恒定溫度。沈積室是一種壓力和惰性的大氣控制環境,使受控的化學反應能夠發生。封閉是為了防止反應物氣體逸出,也保護反應物免受大氣變化的影響。晶片處理過程用於制備將放置在沈積室中的晶片。它包括一個將晶片移入腔內並從腔內移出的臂。手臂有定位系統和必要的精確溫度控制,以保證沈積的均勻性。AMAT Centura MCVD反應堆具有廣泛的特點,使其適合在微電子工業中進行各種過程。它也有很長的使用壽命。它的可靠性、靈活性和易用性使得它成為微電子行業專業人士的首選。
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