二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MCVD #9383682 待售

ID: 9383682
晶圓大小: 8"
CVD System, 8" WxZ Optima process (4) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MCVD是一種化學氣相沈積(CVD)反應器,能夠產生多種單晶材料。CVD是一種用於將化合物(通常是半導體)薄膜均勻沈積到基板上的工藝。該過程利用氣體和熱量的組合,在基板表面上產生一層薄薄的材料。AMAT Centura MCVD是一種高性能反應堆。它配備了一個氣體歧管、兩個感應升降機和一個真空泵。氣體歧管提供了一種反應性氣體和載流子氣體的來源,這些氣體被輸送到反應室中。兩個敏感器升降機用於降低和提升敏感器(一個底物支架)和底物進出反應室。真空泵用於疏散任何不需要的蒸氣和顆粒的腔室。反應堆可以與多個沈積源配合使用,允許各種工藝程序。這種反應堆是專門為使用CVD技術而設計的,它提供了對沈積速率和性能的極大控制。根據所沈積材料的類型,這座反應堆可以以高達每小時7.5微米的速度沈積。另外,通過控制氣體的流量和感受器的溫度,可以調整反應條件,優化材料的結晶結構。APPLIED MATERIALS CENTURA MCVD反應堆的腔室配有石英管,以確保基板周圍的氣體均勻分布,並配有石英窗口,可用於目視過程監測。管子和窗戶還配有自動快門,以確保安全和防止環境汙染物的損害。反應堆的設計具有多種安全功能,如門的鎖定系統,以防止意外進入,以及在緊急情況下的自動關閉功能。此外,它還配備了氣體處理系統,以避免危險物質在室內和室外積聚。Centura MCVD反應堆是一種多功能、高性能的化學氣相沈積工藝儀器。憑借其堅固的系統設計,它提供了多種材料的可靠和高效的加工,使制造商能夠生產高質量的單晶元件。
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