二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ #201320 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP+反應堆是一種先進的等離子體工藝反應堆，用於生產高性能塗層、薄膜和薄膜。MxP+設備結合了通用電源、氮化矽基板和炮塔式低壓島罩。AMAT Centura MxP+反應堆包括可控制的通用電源,可提供高達300 W的功率。這使其使用者能夠控制等離子體流量和基板溫度，以降低沈積風險。電源被設計為支持低流量電壓和多種工藝氣體，如氙氣、氧氣、氮氣和氦氣，以優化工藝。該系統還包括一個魯棒控制單元，實時監控每個進程參數。MxP+反應堆有一臺重型氮化矽基板持有機，即使在低束縛壓力下也能提供出色的橫跨晶圓的均勻性。氮化矽基板支架有一個低壓島式掩模炮塔，旨在確保基板保持牢固，不受任何表面損壞。這款炮塔工具用戶友好，使用方便，提供了較大的處理靈活性窗口。MxP+反應堆還具有高純度的石英淋浴室。這個腔室有一個低壓環境，有助於維持一個統一的，穩定的過程，廣泛的薄膜蝕刻和沈積應用。該反應堆還具有冷卻資產和腔室氣體分配模型，以確保溫度和過程控制的均勻性。MxP+反應堆是一種可靠、用途廣泛的等離子體工藝工具，用於許多不同的應用，如薄組成膜、復合半導體膜、多層膜和表面激活的高縱橫比堆棧。MxP+具有靈活的電源、均勻的基板支架和先進的工藝控制系統，是先進膠片生產的理想選擇。