二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #293762513 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP是一種先進的反應器，設計用於在各種先進的封裝、半導體和器件制造應用中沈積電介質、鈍化和屏障層。AMAT Centura MxP是一種專門的高溫單室反應堆，可以在一個過程中執行多個步驟，而不需要多室轉移。APPLIED MATERIALS Centura MxP的創新設計提供了廣泛的工藝能力，包括低k介電材料的沈積、鈍化層和屏障層。反應堆具有獨特的多區運行體制，允許每個區獨立的溫度和壓力控制，從而允許更高的沈積速率，高效的保形塗層，以及復雜結構中的高質量地形。Centura MxP的設計允許高度的過程控制，由於反應堆腔室的模塊化設計及其獨立控制的區域。脈沖反應物的獨立腔室能夠對腔室內的過程壓力進行最佳控制。該反應堆還能夠適應快速的熱過程，允許在高達850°C的溫度下用各種各樣的氣體和氣體混合物對基板進行快速熱處理。這種快速的熱能使得電介質和屏障層能夠快速沈積和退火，從而縮短工藝時間，提高產量。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS Centura MxP還具有最先進的排氣系統和高過濾凈化氣體，以確保清潔、超低顆粒沈積。AMAT Centura MxP集成了遠程監視和控制功能,可輕松集成到流程控制系統和自動化平臺中。APPLIED MATERIALS Centura MxP也是一個獨立的流程平臺,允許用戶加載、監視和控制其流程,而無需額外的外部系統。此外，反應堆是高度可配置的，有一系列的反應堆腔室大小和選項可供選擇，使用戶能夠根據他們的具體需要調整系統。總體而言，Centura MxP是一種先進的單室反應堆，專為需要更高沈積速率、超低顆粒沈積和更快工藝時間的應用而設計。反應堆具有多區控制、快速熱過程、清潔排氣和易於集成到控制系統中的特點，而其模塊化設計則允許最大程度的過程控制和靈活性。