二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ #9116736 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP+反應堆是一種高通量、單晶圓反應堆，設計用於生產先進的微器件。MxP+設備是一個通用的流程平臺,使用戶能夠開發和利用各種流程。MxP+具有一個大的平床反應器室，在基板表面產生均勻的溫度和等離子體分布。MxP+反應堆包含兩個過程模塊，可以獨立使用，也可以組合使用。第一個模塊是標準工藝模塊（SPM），它允許使用特征良好的沈積技術來沈積薄膜，例如低壓化學氣相沈積（LPCVD）。第二個模塊是高級流程模塊（APM）,它為更高級的流程功能提供了擴展功能。APM可用於等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）和原子層沈積（ALD）。MxP+反應堆能夠使用多種氣體和反應性材料，包括矽烷、氧氣和氨。系統與兩個進程完全兼容，過程結果可以在兩個模塊之間傳輸。這允許用戶自定義他們的流程，同時保持高質量的結果。MxP+提供了廣泛的安全功能,包括惰性裝置、氣體排氣機、防止氧化工具和溫度監測資產。這些特性結合起來，提供了一個安全的操作環境，並防止任何損壞或汙染基板。MxP+還采用了精密的監控技術設計。這項技術能夠對各種工藝參數進行動態監測和調整，從而能夠精確控制沈積速率、沈積均勻性和腔室溫度。AMAT Centura MxP+非常適合需要高吞吐量和高質量結果的過程。它是廣泛領域的理想選擇，從半導體到內存芯片，從LED到太陽能電池。它能夠通過各種厚度沈積，可用於制造具有清晰可重復性的納米級器件，確保一貫高質量的結果。