二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ #9148385 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura MxP+是一種高性能的平行板易感器反應器，設計用於大批量制造復合半導體晶片。該反應器具有石英上反應室和不銹鋼下反應室，具有最高溫度均勻性和良好的工藝再現性。允許的最大基板尺寸可達8英寸。MxP+反應堆能夠在高達1000 °C的溫度下運行。它具有先進的加熱設備，在過程運行過程中將晶圓上的熱梯度降至最低。上部加熱元件由燒結、高穩定性、低輻射鎢棒組成。下部加熱元件同樣由高穩定性鎢棒構成，並配有PLC控制的反應性氣體噴射器，可精確控制氣體流動和組成。MxP+反應器獨特的專利設計確保了整個底物的良好溫度均勻性和整個表面的均勻反應速率。MxP+反應堆裝有精密的基板傳輸系統，使熱變化最小化，增加吞吐量，保持一致的晶圓質量。運輸單元由一個機器人臂組成，該臂被編程為以恒定的速度在反應室中移動底物，而自動註射機則允許將反應性氣體註入到整個底物的精確位置，以提高沈積均勻性。MxP+反應堆采用先進的物理氣相沈積（PVD）工具設計，可同時提供多達5層的重新沈積，減少所需的工藝步驟數量。沈積控制器具有自動調諧能力，進一步提高了工藝的均勻性和準確性，與多種工藝配方兼容。該資產還能夠進行CMP（化學機械拋光）以實現沈積層的平面化。MxP+反應堆專為大體積半導體制造應用而設計，提供可靠和可重復的過程，從而產生高產率。這種高度先進的反應堆的特點對於滿足當今大批量生產環境的需求，確保產品質量和統一性至關重要。